نظام الدوار
قلب الطاقة لمضخة التفريغ الجافة عبارة عن مجموعة دوارة مُجهزة بدقة، وتتكون عادةً من دوارين إلى ثلاثة دوارات حلزونية أو مخلبية-. تتشابك هذه الدوارات المعدنية-عالية الدقة مع بعضها البعض مع خلوصات على مستوى ميكرون-، باستخدام الدوران المعاكس-لدفع الغاز من منفذ الإدخال نحو منفذ العادم. إن التصميم الفريد للملفات الدوارة-مثل المقاطع القوسية الملتفة أو الدائرية-يحدد كفاءة الضخ؛ يمكن أن تصل سرعات الدوران إلى 3000-6000 دورة في الدقيقة، ويمكن أن تتجاوز نسبة ضغط المرحلة الواحدة-10:1.
هيكل الختم
على عكس المضخات الزيتية-المغلقة، تحافظ المضخات الجافة على سلامة الفراغ من خلال آلية إغلاق ثلاثية الطبقات-:
أختام المتاهة: تستخدم القنوات المتعرجة متعددة المراحل الموجودة عند أطراف الدوار مقاومة تدفق الهواء لمنع التسرب.
حاجز الغاز: يتم حقن الغاز الخامل في الخلوصات الحرجة لإنشاء حاجز ضغط هوائي.
الطلاءات المتخصصة: يتم طلاء أسطح الدوار بمواد مثل PEEK (بولي إيثر إيثر كيتون)، والتي توفر مقاومة التآكل ومعامل احتكاك منخفض.
تحافظ ميزات التصميم هذه على معدل التسرب أقل من 0.5 Pa·m³/s، وبالتالي تلبي متطلبات النظافة الصارمة للصناعات مثل تصنيع أشباه الموصلات.
وحدة التبريد: "حارس درجة الحرارة" للتشغيل المستمر
نظرًا لغياب التشحيم المعتمد على الزيت-، تتطلب المضخات الجافة نظامًا ذكيًا لإدارة الحرارة:
تبريد الهواء: تعمل زعانف تبديد الحرارة المصنوعة من سبائك الألومنيوم مقترنة بمروحة طرد مركزي على تبديد ما يصل إلى 60% من الحرارة المتولدة.
تبريد الماء: توفر حلقة تدوير الماء بأنبوب نحاسي داخلي- كفاءة في تبادل الحرارة أعلى بثلاث مرات من تبريد الهواء.
مرحلة-تغيير التبريد: تستخدم نماذج معينة تقنية الأنابيب الحرارية، مما يحقق معدل توصيل حراري يصل إلى 100 مرة أكبر من معدل التوصيل الحراري للنحاس النقي.
